技術(shù)編號：12649324
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于加速度測量領(lǐng)域，尤其涉及一種雙電容式微機(jī)械加速度傳感器及基于該傳感器的溫度自補(bǔ)償系統(tǒng)，對電容式微機(jī)械加速度傳感器的溫漂性能進(jìn)行優(yōu)化和改善。背景技術(shù)電容式微機(jī)械加速度傳感器敏感外界的加速度信號，并將加速度信號轉(zhuǎn)換為差分電容的變化，通過差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路將差分電容的變化轉(zhuǎn)換為電壓信號，并經(jīng)后級的處理電路即可得到輸入加速度信號的大小，從而實(shí)現(xiàn)對加速度的檢測。由于電容式微機(jī)械加速度傳感器的關(guān)鍵單元是電容，當(dāng)溫度改變時，電容的結(jié)構(gòu)尺寸、環(huán)境中的介電常數(shù)、結(jié)構(gòu)中的熱致應(yīng)力和殘余應(yīng)力等均會發(fā)生...
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