技術編號：12655277
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及檢測物理量的傳感器，特別涉及熱式空氣流量傳感器。背景技術當前，作為設置在汽車等內燃機的吸入空氣通路的、測定吸入空氣量的空氣流量傳感器，熱式的空氣流量傳感器能夠直接檢測質量空氣量，因而成為主流。最近，利用半導體微細加工技術在硅基板上堆積電阻體和絕緣層膜之后，利用以KOH等為代表的焊接材料除去硅基板的一部分，形成薄壁部的空氣流量傳感器由于具有高速響應性并且利用該響應性的速度還能夠檢測逆流，所以受到關注。另外，近年來，以減少基板部(印刷基板、陶瓷基板等)的部件為目的，正在研究將上述空氣流量傳...
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