技術(shù)編號(hào)：12655440
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種助于光譜信號(hào)收集的裝置、光譜信號(hào)系統(tǒng)及半導(dǎo)體設(shè)備。背景技術(shù)工藝的終點(diǎn)控制技術(shù)是半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中比較關(guān)鍵的技術(shù)。隨著刻蝕關(guān)鍵尺寸的逐漸減小和基片膜層結(jié)構(gòu)的逐漸復(fù)雜，對(duì)終點(diǎn)控制的要求也就越來越高?，F(xiàn)有的實(shí)現(xiàn)工藝終點(diǎn)控制的主要原理是：獲取工藝刻蝕過程中產(chǎn)生的聚合物發(fā)射出的光譜，根據(jù)該光譜采用閾值控制方法或斜率控制方法來準(zhǔn)確抓取工藝的終點(diǎn)?；谏鲜鲈?，如何獲取高信噪比的光譜信號(hào)是關(guān)鍵，而目前采用光纖頭直接收集光譜信號(hào)，往往存在信噪比低的問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明旨在...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。