技術(shù)編號：12661000
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及微結(jié)構(gòu)器件的制造技術(shù)領(lǐng)域，特別地，涉及一種適于制造微結(jié)構(gòu)器件的母模和該母模的制造方法。背景技術(shù)目前，可以采用LIGA工藝、集合光刻技術(shù)(Lithography)、電鍍鑄模技術(shù)(electroforming)和微成型模制(molding)量產(chǎn)技術(shù)等制造技術(shù)來制造各種微結(jié)構(gòu)器件，例如，顯示裝置的背光單元中的棱鏡片(Lens)、偏光片等。最近，適于微結(jié)構(gòu)器件制造的納米壓印技術(shù)日益受到技術(shù)人員的關(guān)注。在納米壓印技術(shù)中，壓印圖形的形狀和精度完全取決于母模的形狀和精度。但是，采用傳統(tǒng)的制造工藝制造...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。