技術(shù)編號：12680260
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。配置中的除污及剝除處理腔室本申請是申請日為“2013年1月18日”、申請?zhí)枮椤?01380010918.8”、題為“配置中的除污及剝除處理腔室”的分案申請。技術(shù)領域本發(fā)明的實施例一般是關于用于制造半導體基板上的裝置的方法與設備。更具體地，本發(fā)明的實施例是關于一種負載鎖定腔室，該負載鎖定腔室包括了配置來用于處理基板的一腔室容積。背景技術(shù)超大型集成電路(Ultra-large-scaleintegrated(ULSI)circuits)可包括超過一百萬的電子裝置(例如晶體管)，這些電子裝置形成于半導...
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