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一種用于微型原子傳感器的垂直腔面發(fā)射激光器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12684926

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體激光器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于微型原子傳感器的垂直腔面發(fā)射激光器。背景技術(shù)垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)是一種激光發(fā)射方向垂直于芯片表面的新型半導(dǎo)體激光器,由于其獨(dú)特的諧振腔結(jié)構(gòu),VCSEL具有高的調(diào)制帶寬,并且十分適合與各種不同類型的光學(xué)、電子元件進(jìn)行高密度集成。近年來基于VCSEL技術(shù)的微型原子傳感器,如原子鐘、原子磁力計(jì)、原子陀螺儀等發(fā)展很快,此類原子傳感器在便攜式定位導(dǎo)航設(shè)備中有廣泛的應(yīng)用前景,其主要原理是利用VCSEL發(fā)出的激光與微小型氣室中的堿金屬原子蒸汽相互作用...
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