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技術(shù)編號：12690069

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本發(fā)明涉及三甲基氯硅烷生產(chǎn)六甲基二硅氮烷新工藝。背景技術(shù)六甲基二硅氮烷(HMDS)是一種重要的有機硅化合物，在有機硅化學(xué)及有機合成領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。六甲基二硅氮烷不僅是合成六甲基二硅脲(BSU)的關(guān)鍵原料，而且是有機合成中常用的甲硅烷基化試劑，具有重要的工業(yè)利用價值。在有機硅氮烷化學(xué)中，可以用作與氯硅烷單體進行氯交換，從而獲得聚硅氮烷，這種方法比直接通氨法在合成上有巨大優(yōu)勢。在半導(dǎo)體工業(yè)中用作光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。醫(yī)藥工業(yè)中阿米卡星、青霉素、頭孢菌素等合成過程中都使用到六甲基二硅氮烷。工業(yè)上H...
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