技術編號：12699151
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是涉及一種鍍膜用承載裝置，特別是涉及一種鍍膜用磁性承載裝置。背景技術參閱圖1及圖2，美國第6,290,824核準公告號發(fā)明專利案公開一種用于一連續(xù)型(in-line)磁性薄膜鍍膜系統(tǒng)1的載盤裝置18。該連續(xù)型磁性薄膜鍍膜系統(tǒng)1沿一X方向具有多個制程腔體(processchamber)11，還具有一個傳輸腔體(transportchamber)12、一個載入腔體(inletchamber)13、一個載出腔體(outletchamber)14、多個分隔閥門15、多個X方向傳輸機構(transp...
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