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一種可調(diào)激光擴(kuò)束聚焦裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12715473

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本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域,特別是涉及一種可調(diào)激光擴(kuò)束聚焦裝置。背景技術(shù)激光外差干涉技術(shù)以其精度高、環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),在測(cè)量方面得到了廣泛的應(yīng)用,從測(cè)量汽車的振動(dòng)頻率到測(cè)量微納器件的振型,其中激光擴(kuò)束鏡是該類應(yīng)用的關(guān)鍵部件。目前對(duì)擴(kuò)束鏡的調(diào)焦方式,主要有旋轉(zhuǎn)調(diào)焦、電動(dòng)調(diào)焦等方式,大多會(huì)造成前置鏡頭的旋轉(zhuǎn)。在實(shí)際應(yīng)用中,由于前置鏡頭的周向制造誤差或者裝配誤差,在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中,都會(huì)產(chǎn)生較大的調(diào)焦誤差,因此在皮米納米等高精度測(cè)量的場(chǎng)景下具有一定的使用限制。因此,如何提供一種調(diào)焦誤差較低的可調(diào)激光擴(kuò)束聚焦裝置...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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