技術(shù)編號：12724874
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于可重構(gòu)全息天線的GaAs基等離子pin二極管的制備方法。背景技術(shù)全息天線由源天線和全息結(jié)構(gòu)組成。結(jié)合實(shí)際需求，選擇適當(dāng)?shù)奶炀€作為源天線，通過加載全息結(jié)構(gòu)來改變饋源的輻射，以獲得所需的目標(biāo)天線的輻射特性，通過給定的電磁波輻射的干涉圖進(jìn)而推算天線結(jié)構(gòu)。與傳統(tǒng)的反射面天線相比，全息結(jié)構(gòu)具有靈活的構(gòu)建形式，便于和應(yīng)用環(huán)境一體設(shè)計(jì)，應(yīng)用范圍很廣泛。可重構(gòu)天線，尤其是頻率可重構(gòu)天線，因其工作頻率在一定范圍內(nèi)可靈活改變，能適應(yīng)多種工況的需求，在學(xué)術(shù)界和工業(yè)界受...
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