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  • 一種陣列基板以及制作方法與流程技術(shù)資料下載

    技術(shù)編號(hào):12725223

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    本發(fā)明實(shí)施例涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種陣列基板以及制作方法。背景技術(shù)金屬氧化物薄膜晶體管以金屬氧化物半導(dǎo)體層作為薄膜晶體管的有源層材料,由于其具有載流子遷移率高、沉積溫度低以及透明度高等光學(xué)特性,成為主流的顯示面板驅(qū)動(dòng)技術(shù)。低溫多晶硅薄膜晶體管開關(guān)速度高、又如薄膜電路可以做得更薄更小、功耗更低等等。現(xiàn)有技術(shù)中,在周邊電路區(qū)采用低溫多晶硅薄膜晶體管,顯示區(qū)的像素驅(qū)動(dòng)電路用金屬氧化物薄膜晶體管,改善了器件均一性差和漏流等問題。但是由于目前的制作工藝,在制作金屬氧化物薄膜晶體管的同時(shí),制作了低溫多...
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