技術(shù)編號：12725230
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及顯示領(lǐng)域，特別是涉及一種薄膜晶體管陣列基板及其制造方法。背景技術(shù)隨著顯示技術(shù)的飛速進步，平面顯示裝置也隨之有了飛躍性的進步，漸漸進入人們的生活?，F(xiàn)有技術(shù)中，平面顯示器從驅(qū)動方式分為有源矩陣顯示器和無源矩陣顯示器。有源矩陣顯示器和無源矩陣顯示器的區(qū)別在于有源矩陣顯示器中設(shè)置有有源元件，通常有源元件為薄膜品體管。有源矩陣顯示器通過薄膜品體管控制每一像素的工作。現(xiàn)有技術(shù)中，將薄膜晶體管制作到基板的過程中，由于半導(dǎo)體有源層易受損傷，會在半導(dǎo)體有源層上方制作一層刻蝕阻擋層ESL來保護半導(dǎo)體有源層...
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