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一種線條粗糙度的測(cè)量方法及系統(tǒng)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12746122

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本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域,特別涉及一種線條粗糙度的測(cè)量方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)在集成電路制造工藝中,光刻和刻蝕工藝是最重要的制備工藝之一。隨著集成電路集成度的不斷提高,器件的特征尺寸不斷減小,尤其是進(jìn)入納米時(shí)代之后,對(duì)光刻和刻蝕的要求也越來(lái)越高,需要對(duì)光刻和刻蝕工藝嚴(yán)格控制,才能獲得器件性能上的要求。光刻工藝是獲得圖形形貌的最直接工藝之一,光刻工藝獲得的光刻膠圖形粗糙度直接影響后續(xù)轉(zhuǎn)移刻蝕之后實(shí)際結(jié)構(gòu)的粗糙度和側(cè)壁質(zhì)量。通常,在光刻工藝之后會(huì)抽查光刻圖形質(zhì)量,包括線條邊緣粗糙度(LineEdger...
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