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一種風(fēng)速傳感器的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12746830

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本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種風(fēng)速傳感器。背景技術(shù)風(fēng)速、風(fēng)向是反應(yīng)氣象情況非常重要的參數(shù),對(duì)環(huán)境監(jiān)測(cè)、空氣調(diào)節(jié)和工農(nóng)業(yè)的生產(chǎn)有重要影響,因此,快速、準(zhǔn)確地測(cè)量出風(fēng)速和風(fēng)向具有重要的實(shí)際意義,傳統(tǒng)的風(fēng)杯和風(fēng)向標(biāo)目前仍是廣泛使用的檢測(cè)器件,但這些機(jī)械裝置因具有移動(dòng)部件而易磨損,同時(shí)具有體積大、價(jià)格昂貴、需要經(jīng)常維護(hù)等缺點(diǎn),而目前廣泛研究的熱式微機(jī)械風(fēng)速傳感器雖然測(cè)量簡(jiǎn)單、制作工藝易于控制,但其功耗大,而且襯底傳熱會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、靈敏度高、不易磨損且功...
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