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一種具有特殊耐壓環(huán)的高壓功率器件的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12749685

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種具有特殊耐壓環(huán)的高壓功率器件。背景技術(shù)隨著電力電子技術(shù)的迅速發(fā)展,高壓功率器件也朝著大容量、高頻化、高效節(jié)能、低成本的方向發(fā)展。提高器件的擊穿電壓則成為人們的研究方向之一。理想的器件擊穿電壓是指pn結(jié)或金屬-半導(dǎo)體結(jié)為平行平面結(jié)的情況,但是,由于實(shí)際器件的以及生產(chǎn)工藝流程中某些因素的影響,雜質(zhì)在進(jìn)行縱向擴(kuò)散的同時(shí)也發(fā)生側(cè)向擴(kuò)散,所以結(jié)的終端輪廓是彎曲的。對(duì)于高壓功率器件,當(dāng)給結(jié)加反偏電壓,接近擊穿時(shí)在結(jié)的附近的場(chǎng)強(qiáng)是很高的,在結(jié)終端彎曲處的電場(chǎng)強(qiáng)度要比其...
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