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一種液相法生長(zhǎng)碳化硅晶體用的石墨坩堝的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12759192

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本實(shí)用新型涉及一種液相法生長(zhǎng)碳化硅晶體用的石墨坩堝,屬于碳化硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)現(xiàn)有的液相法生長(zhǎng)碳化硅晶體,都是通過(guò)加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化,形成碳在硅中的溶液,再通過(guò)頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進(jìn)行生長(zhǎng)。石墨坩堝為開(kāi)放式設(shè)計(jì),外圍包裹有保溫材料。在坩堝的頂部,有一定大小的開(kāi)孔,便于籽晶軸從坩堝上方伸入到坩堝中的溶液中,開(kāi)孔的大小由所生長(zhǎng)的晶體決定。生長(zhǎng)晶體的尺寸越大,所用的坩堝尺寸越大,開(kāi)孔的直徑也越大。高溫狀態(tài)下,熔融的硅會(huì)出現(xiàn)揮發(fā)的現(xiàn)象。蒸汽硅遇到冷的物體,就會(huì)凝結(jié)...
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