技術(shù)編號：12762298
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種采用分段式結(jié)構(gòu)牽引級的復合分子泵。背景技術(shù)分子泵作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設(shè)備，已被廣泛應(yīng)用于很多工業(yè)領(lǐng)域，其中復合分子泵在較寬的壓力范圍內(nèi)，依然能夠保持較高的抽氣性能，因此在半導體等行業(yè)中應(yīng)用廣泛?，F(xiàn)有的復合分子泵主要分為兩類，一類是由渦輪分子泵與盤式牽引分子泵組合設(shè)計而成，即帶盤式牽引結(jié)構(gòu)的復合分子泵；另一類是由渦輪分子泵與筒式牽引分子泵組合設(shè)計而成，即帶筒式牽引結(jié)構(gòu)的復合分子泵，是現(xiàn)階段使用最為普遍的復合分子泵類型。對于帶筒式牽引結(jié)構(gòu)...
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