技術(shù)編號(hào)：12768528
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及自動(dòng)化檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種穩(wěn)定型晶元片檢測(cè)頭組件。背景技術(shù)晶元(Wafer)，是生產(chǎn)集成電路所用的載體，多指單晶硅圓片，也叫晶元芯片。普通硅砂拉制提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶元片。一個(gè)圓盤狀的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈陣列排布，晶元在封裝制造成芯片之前需要對(duì)其性能進(jìn)行檢測(cè)，由于一個(gè)晶元片上存在成百上千個(gè)晶元，人工通過探針對(duì)每個(gè)晶元進(jìn)行檢測(cè)，工作量非常大，而且容易漏檢。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有技術(shù)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。