技術(shù)編號：12772433
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及硅片倒角設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種硅片倒角機用硅片真空夾持裝置。背景技術(shù)當(dāng)前，企業(yè)在對硅片進(jìn)行倒角時采用的夾持裝置為電磁式，這種夾持裝置結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，而且維修困難，價格較昂貴，存在不足。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種硅片倒角機用硅片真空夾持裝置，為克服上述的不足，采用真空夾持的方式，這種方式不僅結(jié)構(gòu)簡單，易于維修，而且性價比高。本實用新型的技術(shù)方案：一種硅片倒角機用硅片真空夾持裝置，包括電機、蝸桿、蝸輪、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)體、轉(zhuǎn)盤；其中：電機與蝸桿同軸連接，蝸桿與蝸輪嚙合連接，蝸輪通過轉(zhuǎn)軸...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。