技術(shù)編號(hào)：12779495
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種坩鍋。背景技術(shù)為了達(dá)到多種應(yīng)用，薄膜可被沉積于基板上，例如，薄膜可用于電子或光學(xué)裝置。薄膜結(jié)構(gòu)可以是單層結(jié)構(gòu)或多層結(jié)構(gòu)，其中薄膜的材料可以是金屬、半導(dǎo)體或是絕緣體。于沉積工藝之中，蒸鍍工藝為一個(gè)常用的薄膜沉積方法。蒸鍍?cè)O(shè)備包含腔體、坩鍋及設(shè)置于腔體的載板，其中坩鍋可用來裝填蒸鍍材料。載板為用來支撐其他組件或是使其他組件可朝向坩鍋。于蒸鍍開始進(jìn)行時(shí)，蒸鍍材料為放置于坩鍋內(nèi)，其中坩鍋為置入于腔體內(nèi)，接著，可發(fā)射電子束至坩鍋。然而，于加熱程序期間，由于監(jiān)測(cè)蒸鍍材料狀態(tài)會(huì)有一定程度的困...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。