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用于氮氧化物傳感器的新型芯片的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12784610

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本發(fā)明涉及汽車尾氣控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)領(lǐng)域,尤其涉及傳感器的芯片,具體是指一種用于氮氧化物傳感器的新型芯片。背景技術(shù)隨著我國(guó)城鎮(zhèn)化進(jìn)程的加速,化石燃料消耗迅速增加,很多的有毒、有害的氣體被釋放到大氣中污染環(huán)境,其中最典型的一類,就是NOx氣體,它不僅會(huì)導(dǎo)致光化學(xué)煙霧以及酸雨、破壞臭氧層,還會(huì)對(duì)人類的呼吸系統(tǒng)產(chǎn)生副作用,出現(xiàn)脫發(fā)、喉嚨發(fā)炎、視力受損、呼吸系統(tǒng)抵抗力下降等癥狀。因此氮氧化物減排被列為環(huán)境保護(hù)的要求之一。很多的毒理以及流行病學(xué)研究發(fā)現(xiàn)了NOx的副作用。NO2以及NO氣體(合稱NOx)目前受到...
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