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曝光設備及曝光系統(tǒng)的制作方法與工藝技術資料下載

技術編號:12785543

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本發(fā)明屬于顯示技術領域,具體涉及一種曝光設備及曝光系統(tǒng)。背景技術現(xiàn)有技術當中,通常采用接近式曝光機來生產(chǎn)彩色濾光片。傳統(tǒng)接近式曝光機的曝光區(qū)域尺寸較為單一,通常只有一種或者兩種曝光區(qū)域。在生產(chǎn)彩色濾光片時,曝光區(qū)域(即曝光光線能照到的區(qū)域)應當與待曝光區(qū)域(即待曝光基板需要同時進行曝光的區(qū)域)尺寸相同。而不同產(chǎn)品的待曝光區(qū)域的尺寸各有不同,當曝光區(qū)域大于待曝光區(qū)域時,需要將曝光區(qū)域超出待曝光區(qū)域的部分遮擋進行曝光?;蛘?,現(xiàn)有技術中,還可改變待曝光基板的放置方式(例如待曝光區(qū)域長度等于曝光區(qū)域寬度...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。

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