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一種三氯氫硅合成方法及裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12791856

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本發(fā)明屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種三氯氫硅合成方法及裝置。背景技術(shù)氯化法生產(chǎn)三氯氫硅是通過(guò)冶金級(jí)硅粉與氯化氫氣體在流化床合成爐內(nèi)進(jìn)行氣固非均相反應(yīng)生成的,目前國(guó)內(nèi)外大多數(shù)生產(chǎn)工藝中均采用30~160目窄粒徑范圍的大顆粒硅粉,這種生產(chǎn)工藝存在以下不足:(1)工業(yè)硅粉的生產(chǎn)成本高,由于硅粉的粒徑范圍較窄,生產(chǎn)過(guò)程難度增加,導(dǎo)致生產(chǎn)成本上升;(2)大顆粒硅粉的流化氣速較高,為了確保流化效果,需要提高氯化氫的通量,導(dǎo)致系統(tǒng)中氯化氫過(guò)量,增加了尾氣回收的難度與成本;(3)大顆粒硅粉的比表面積較小,...
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