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一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12808757

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本發(fā)明涉及一種研磨設(shè)備,尤其涉及一種用于電子產(chǎn)品制造的晶圓研磨設(shè)備。背景技術(shù)晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱(chēng)為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達(dá)99.999999999%。晶圓需要對(duì)表面進(jìn)行研磨,目前研磨晶圓的研磨設(shè)備還不能研磨不同尺寸的晶圓,操作復(fù)雜,研磨效率不高,因此亟需研發(fā)一種操作簡(jiǎn)...
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