技術編號：12812878
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。多晶硅及其制造方法本申請是申請日為2011年8月25日、申請?zhí)枮?01110256319.7、發(fā)明名稱為“多晶硅及其制造方法”的發(fā)明專利申請的分案申請。技術領域本發(fā)明涉及多晶硅及其制造方法。背景技術多晶硅目前在工業(yè)上大規(guī)模生產(chǎn)，并且特別是作為原料用于光伏應用及用于晶片制造中單晶的制造。在所有應用中期望高純度的原料。在制造多晶硅時，在由氣相沉積之后需要將多晶硅棒破碎成小塊用于進一步加工。但是在此高純硅由于使用破碎工具而或多或少地被外來原子污染。此外，產(chǎn)生硅塵顆粒，其粘附在碎塊上。通常對硅碎塊進行清...
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