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一種滾軸式磁流變拋光裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12816733

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:本實(shí)用新型涉及拋光設(shè)備,特別是一種采用單電機(jī)驅(qū)動(dòng)并利用磁流變液對(duì)工件進(jìn)行均勻拋光的裝置。背景技術(shù):隨著光學(xué)系統(tǒng)及精密儀器技術(shù)的迅速發(fā)展,超光滑大尺寸器件應(yīng)用的日益廣泛對(duì)光電子器件的表面和形狀精度提出了更高的要求。超精密加工技術(shù)是光電子器件制造中的支撐技術(shù),廣泛應(yīng)用于航空航天、電子通信、生物工程、信息技術(shù)等領(lǐng)域,并取得了卓越的發(fā)展,已經(jīng)成為高競(jìng)爭(zhēng)企業(yè)中的重要領(lǐng)域。隨著光電產(chǎn)品使用性能的不斷提高,尺寸平面元件的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,對(duì)于加工這些器件,要滿(mǎn)足單位去除量少、殘余應(yīng)力小等要求。而傳統(tǒng)的平面光整...
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