技術(shù)編號(hào)：12819010
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于真空腔蓋啟閉的鉸鏈及其真空處理裝置。背景技術(shù)真空腔體廣泛應(yīng)用于薄膜涂層、微電子、光學(xué)器件和材料制造領(lǐng)域，是一種能適應(yīng)高真空環(huán)境的特殊容器。真空腔在工作或停止工作時(shí)，需要將真空腔蓋關(guān)閉或開啟。通常，真空腔蓋由氣柱或線性驅(qū)動(dòng)裝置頂起或關(guān)閉，在真空腔蓋完全打開時(shí)，由于真空腔蓋本身的重力作用，會(huì)造成真空腔蓋發(fā)生過沖，例如，翻轉(zhuǎn)過去。特別是，在腔門完全開啟且處于垂直狀態(tài)時(shí)，由于腔門自身的重力作用以及腔門旋轉(zhuǎn)的末速度，會(huì)使得腔門產(chǎn)生嚴(yán)重的過沖，導(dǎo)致腔門運(yùn)動(dòng)的不可控，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。