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一種可調(diào)諧MOEMS濾光片的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12821851

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本發(fā)明屬于紅外探測成像領(lǐng)域,具體而言,涉及基于MOEMS(微光機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的波長可調(diào)諧濾光片以及其調(diào)諧控制器和封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)隨著紅外探測器技術(shù)的發(fā)展,現(xiàn)代大規(guī)模紅外探測器組件已經(jīng)具備了極高的空間分辨率,在紅外搜索跟蹤中可以實(shí)現(xiàn)很高的探測概率和低誤警率。但是寬帶中波紅外或者長波紅外探測器在搜索與跟蹤過程中會(huì)受到背景雜波、誘餌干擾而導(dǎo)致其探測能力降低,因此為了提高各種軍事任務(wù)中對(duì)雜亂背景下的隱蔽物體的探測能力,需要通過多光譜或者超光譜成像探測技術(shù)來提高目標(biāo)識(shí)別率。然而傳統(tǒng)的多光譜成像系統(tǒng)采用色...
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