技術(shù)編號(hào)：12821870
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及紅外探測(cè)器技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種紅外探測(cè)器及其制備方法。背景技術(shù)采用微機(jī)電系統(tǒng)(MicroelectroMechanicalSystems，簡(jiǎn)稱(chēng)MEMS)的紅外探測(cè)器包括紅外焦平面陣列和溫度傳感器，其工作原理為：紅外焦平面陣列吸收紅外輻射導(dǎo)致自身溫度變化，引起溫度傳感器的熱敏材料的溫度發(fā)生相應(yīng)的變化，溫度變化使得熱敏材料內(nèi)的電子運(yùn)動(dòng)速度加快，導(dǎo)致熱敏材料的電阻率變大，從而探測(cè)溫度的變化，最終得到紅外輻射的功率。根據(jù)市場(chǎng)導(dǎo)向和新技術(shù)的發(fā)展，未來(lái)的紅外焦平面陣列將朝著小尺寸和大陣列方向發(fā)...
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