技術(shù)編號：12831584
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種檢測裝置，具體是一種改進(jìn)的平面度檢測裝置。背景技術(shù)平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區(qū)域。平面度屬于形位誤差中的形狀誤差。平面度測量是指被測實(shí)際表面對其理想平面的變動(dòng)量。平面度誤差是將被測實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面，平面度誤差值；或通過測量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。平面度檢測是現(xiàn)在高精度加工領(lǐng)域內(nèi)必須的檢測步驟之一，現(xiàn)在各類檢測設(shè)備很多，但是結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，不...
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