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技術(shù)編號：12834666

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本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅還原尾氣回收方法和一種多晶硅還原尾氣回收系統(tǒng)。背景技術(shù)多晶硅是太陽能光伏行業(yè)的基礎(chǔ)材料。目前，多晶硅主要采用改良西門子法(即三氯氫硅還原法)生產(chǎn)，指的是利用氣相沉積法在還原爐中通過H2來還原SiHCl3從而制備多晶硅，具體反應(yīng)方程式為：3SiHCl3+H2→2Si+5HCl+SiCl4由于還原爐中的溫度等條件很難達到均一，導(dǎo)致實際的還原過程十分復(fù)雜，并伴隨副反應(yīng)發(fā)生，這樣就使得還原尾氣中的成分較為復(fù)雜，主要包括H2、HCl氣體、氣相氯硅烷和無定形硅...
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