技術(shù)編號：12839677
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及濕式制程領(lǐng)域，特別是涉及一種濕式蝕刻裝置。背景技術(shù)在面板產(chǎn)業(yè)中，濕式制程的發(fā)展已經(jīng)相當(dāng)成熟。然而現(xiàn)有濕式制程機(jī)臺中，使用上具有維修困難、耗液量大、均勻性不佳、漏夜、及背面臟污等等問題，上述問題在細(xì)線寬(finepitch)的情況下特別嚴(yán)重?，F(xiàn)有濕式制程機(jī)臺中的蝕刻噴灑模塊包括若干個噴嘴，蝕刻液直接通過噴嘴噴灑于一基板上以對該基板進(jìn)行蝕刻，然而無論噴嘴的口徑大小，由于并未對蝕刻液進(jìn)行任何處理，因此蝕刻液噴灑在基板上時，會發(fā)生均勻性不佳的問題，進(jìn)而影響蝕刻效果。因此需要針對上述現(xiàn)有技術(shù)中蝕...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。