技術編號：12855146
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型總體上涉及材料制備領域，更特別地，涉及一種多功能電感耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)，其能夠用于諸如石墨烯、二硫化鉬等之類的二維材料的生長、修飾和蝕刻。該系統(tǒng)具有較低的成本，并且使用和維護都非常方便。背景技術近年來，二維材料由于其獨特的性質而越來越吸引研究人員的興趣。二維材料是指電子僅可在兩個非納米級維度上(>100nm)自由運動(平面運動)的材料，如石墨烯、MoS2等。在二維材料中展現(xiàn)了許多新的物理現(xiàn)象，由此又可以研制新的材料、器件等。以二維材料為基本單位的異質結也隨之成為研究...
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