技術(shù)編號：12860522
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型的實施方式和實施例的模式涉及光子集成電路，特別地涉及包括不同波導(dǎo)的光子集成電路，以及最特別地涉及用于將這些不同波導(dǎo)相互耦合的裝置。背景技術(shù)常規(guī)地，在兩個波導(dǎo)之間的接合區(qū)域中，例如在肋條波導(dǎo)和條帶波導(dǎo)之間，肋條波導(dǎo)的板片逐步減小，直至其與條帶波導(dǎo)的肋條相同寬度。如圖1和圖2中所示，該接合類型可以常規(guī)地經(jīng)由部分地刻蝕硅膜1的第一操作而制造，使用第一掩模M1(圖1)實現(xiàn)刻蝕操作，并且刻蝕操作允許刻蝕界定了肋條波導(dǎo)的板片和肋條、并且特別地界定其寬度逐步減小的第一波導(dǎo)的板片的第一區(qū)域2。使用第二...
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