技術(shù)編號：12880582
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型是一種高溫擴散工藝提高材料的韌性和延展性裝置，屬于加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)擴散工藝的主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。現(xiàn)有技術(shù)公開了申請?zhí)枮椋?01220302081.7的一種用于硼擴散工藝的石英爐門，包括石英門本體，所述石英門本體的內(nèi)壁附著有一層在硼擴散高溫條件下化學(xué)性能穩(wěn)定、且熱脹冷縮系數(shù)低于所述石英門體材料的熱脹冷縮系數(shù)的保護(hù)膜；本實用新型中通過在石英門本體內(nèi)壁上設(shè)置高...
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