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一種基于雙頻激光干涉原理的精確位移監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12904071

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本發(fā)明屬于光學(xué)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及精確位移監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。背景技術(shù)目前,針對(duì)回轉(zhuǎn)體工件的幾何測(cè)量方面,主要有三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、輪廓儀、光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)等。盡管光學(xué)探頭的測(cè)量精度可以達(dá)到數(shù)十納米或者是納米級(jí)別,但是在很多情況下,由于定位及監(jiān)測(cè)精度不夠,使用該測(cè)頭給出的測(cè)量精度往往微米量級(jí),甚至更差。為實(shí)現(xiàn)精密乃至超精密的測(cè)量,無(wú)論是三坐標(biāo)或者是光學(xué)三維測(cè)量技術(shù),都需要對(duì)測(cè)量傳感器進(jìn)行精確的定位,也就是需要對(duì)傳感器的位置精確監(jiān)測(cè)。目前商品化測(cè)量系統(tǒng)中,較為典型的定位監(jiān)測(cè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)如圖1所示,其中,可移動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)平...
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