技術(shù)編號(hào)：12915244
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種檢測(cè)方法，具體是一種去嵌入方式的阻抗測(cè)試方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步和信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，射頻/微波半導(dǎo)體器件應(yīng)用越來(lái)越廣泛，因此設(shè)計(jì)時(shí)對(duì)器件參數(shù)的測(cè)量越發(fā)的關(guān)注。不僅芯片的設(shè)計(jì)者需要知道如何精準(zhǔn)的測(cè)出芯片的參數(shù)，芯片的使用者也希望能夠得到較為準(zhǔn)確的參數(shù)。在微波網(wǎng)絡(luò)的S參數(shù)測(cè)量中芯片參數(shù)的測(cè)量必定會(huì)遇到芯片bonding線跟傳輸線所引起的測(cè)量誤差。目前也有專門的單位設(shè)計(jì)相應(yīng)的射頻探針夾具測(cè)試芯片參數(shù)，參考文獻(xiàn)(1、一種針對(duì)模塊化探針S參數(shù)幅頻特性的校準(zhǔn)方法；2、一種微波器件標(biāo)...
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