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用于白光干涉成像的內(nèi)置轉(zhuǎn)盤(pán)式濾波片切換裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12915447

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本發(fā)明涉及一種白光干涉顯微成像技術(shù),特別是用于白光干涉成像的內(nèi)置轉(zhuǎn)盤(pán)式濾波片切換裝置。背景技術(shù)在現(xiàn)代測(cè)量技術(shù)中出現(xiàn)了許多基于光學(xué)的微觀(guān)輪廓測(cè)量?jī)x器,其中,白光掃描干涉顯微鏡法采用白光光源,結(jié)構(gòu)類(lèi)似于干涉顯微鏡,通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡進(jìn)行掃描干涉,使干涉條紋掃描過(guò)整個(gè)被測(cè)表面,根據(jù)干涉條紋的光強(qiáng)極值對(duì)應(yīng)表面最佳干涉位置獲得表面的高度信息,繼而得到被測(cè)樣品的三維形貌,具有較高的測(cè)量精度、縱向測(cè)量范圍大、表面信息直觀(guān)、測(cè)量精度高和全視場(chǎng)三維測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)。在白光干涉顯微成像測(cè)量過(guò)程中,時(shí)常需要將白光切換單...
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