技術(shù)編號(hào)：12915987
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種靜電驅(qū)動(dòng)階梯型微固支梁的驅(qū)動(dòng)電壓預(yù)測(cè)方法和系統(tǒng)。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)，也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。根據(jù)不同的驅(qū)動(dòng)方式MEMS器件可分為熱驅(qū)動(dòng)型、形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)型、壓電驅(qū)動(dòng)型、電磁驅(qū)動(dòng)型和靜電驅(qū)動(dòng)型...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
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