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技術(shù)編號：12920262

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本實用新型涉及化學氣相沉積金剛石圖層領(lǐng)域，尤其涉及一種用于沉積金剛石薄膜的熱絲組件以及用于在刀具上加工金剛石薄膜的金剛石薄膜沉積設(shè)備。背景技術(shù)隨著機械加工工業(yè)的迅速發(fā)展，加工業(yè)對各類刀具的需求量越來越大。因此，提高刀具的使用壽命成為加工工業(yè)的一大需求。而制備高性能涂層是提高刀具使用壽命普遍使用的方法之一。金剛石具有極高的硬度、彈性模量、熱導率和化學穩(wěn)定性，是十分理想的刀具涂覆材料。熱絲化學氣相沉積(HotFilamentChemicalVaporDeposition,HFCVD)法由于其成本低，...
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