技術(shù)編號：12926913
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。半導(dǎo)體器件相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2012年5月7日在韓國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請No.10-2012-0048086的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該韓國專利申請的全部內(nèi)容通過引用并入本申請。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明的實(shí)施例涉及半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件包括薄膜晶體管、電容器和/或類似物，其可以包括至少兩個(gè)作為有源層或電極使用的導(dǎo)電層。導(dǎo)電層在制造過程中通過光刻工藝和蝕刻工藝來圖案化。在光刻工藝中，使用掩膜通過曝光工藝和顯影工藝形成光刻膠圖案，并且在蝕刻工藝中，導(dǎo)電層具有使用光刻膠圖案形成的圖案。薄膜晶體管...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。