技術(shù)編號(hào)：12927782
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于分隔壓力不同的2個(gè)空間的密封機(jī)構(gòu)、密封機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)裝置、輸送裝置和制造裝置。背景技術(shù)在輸送裝置、半導(dǎo)體制造裝置或機(jī)床等制造裝置中，會(huì)使用使旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)、或者使半導(dǎo)體基板、工件或工具旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。作為這樣的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，例如在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載了一種定位裝置(參照?qǐng)D2)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2007－9939號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容記載于專(zhuān)利文獻(xiàn)1的技術(shù)，通過(guò)在密封槽內(nèi)收納作為接觸式密封件的O形環(huán)，來(lái)使真空腔室等處理室內(nèi)與外部環(huán)境隔離，同時(shí)使軸旋轉(zhuǎn)。然而，O形環(huán)雖然可提高密封性，但是由于強(qiáng)制性地使其變...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。