技術(shù)編號：12936131
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及機械加工設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種產(chǎn)品鍍膜用掛具。背景技術(shù)蒸發(fā)鍍膜需要在較高真空度下進行的鍍膜，一般是加熱靶材使表面成分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程形成薄膜。為了滿足客戶需求及產(chǎn)品性能要求，需要讓產(chǎn)品在真空室內(nèi)呈現(xiàn)固定角度，讓產(chǎn)品需要鍍鋁的區(qū)域充分與需要鍍的表面成分接觸，因此需要利用掛具對產(chǎn)品進行懸掛，提高產(chǎn)品與蒸發(fā)靶材的接觸面積。掛具不僅要滿足產(chǎn)品懸掛的要求，還要盡可能多的懸掛產(chǎn)品，常見的掛具通過螺栓頂緊調(diào)節(jié)各層次之間的間距，不僅調(diào)節(jié)速度慢，且無法保...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。