技術(shù)編號(hào)：1323403
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種清洗槽，尤其是一種防溢清洗槽。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造過程中，晶硅的潔凈度對(duì)制造的合格率有非常大的影響，而清洗槽是清洗晶硅的重要部件，但是普通的清洗槽因?yàn)槿萘坑邢?，不可能無限制放入清洗液，如果清洗液過多，導(dǎo)致液體溢出的話會(huì)對(duì)周圍環(huán)境和設(shè)備造成腐蝕實(shí)用新型內(nèi)容 本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為解決上述存在的問題，提供一種防溢清洗槽，防止液體溢出。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種防溢清洗槽，包括槽體，槽體下端設(shè)置有面積大于槽體的底板，...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。