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技術(shù)編號(hào)：1338309

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造裝置用密封材料等的氟橡膠類成型制品的洗滌方法和被洗滌的成型制品、以及裝配該成型制品的蝕刻裝置等半導(dǎo)體制造裝置。背景技術(shù) 過(guò)去，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中，半導(dǎo)體制造裝置用的密封材料等成型制品，一般使用由硅酮類材料、氟硅酮類材料、乙烯/丙烯/二烯三元共聚物(EPDM)等制成的密封材料，但從耐熱性、耐等離子體性、耐腐蝕氣體性等性能優(yōu)良的觀點(diǎn)考慮，特別是作為在嚴(yán)酷使用條件下的成型制品，使用偏氟乙烯/六氟丙烯共聚物橡膠、偏氟乙烯/四氟乙烯/六氟丙烯...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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