技術(shù)編號：1408287
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及晶圓代工廠的環(huán)境維護，涉及有毒有害粉塵的收聚和處理，具 體地說，是一種外接于真空系統(tǒng)的用于收聚和處理半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生的有 毒有害粉塵的過濾裝置及過濾系統(tǒng)。背景技術(shù)晶圃代工廠在半導(dǎo)體制造過程中需要使用各種化學(xué)物質(zhì)和材料，并會產(chǎn)生很多的廢料和殘余物質(zhì)，其中不乏一些具有毒性的粉塵顆粒，如砷等。這些 有毒有害粉塵必須先由工作人員收聚起來，統(tǒng)一經(jīng)過特殊處理之后才能向外界 排放， 一旦處置不當，不僅會對環(huán)境造成影響，也會對人體健康造成嚴重威脅。通常情況下...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。