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技術(shù)編號：1419094

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本發(fā)明涉及一種用于硅晶太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備維護的裝置，具體是一種石墨舟 (框)干式清洗機。背景技術(shù)在晶硅太陽能電池生產(chǎn)過程中，有一個關(guān)鍵的氮化硅減反射膜沉積工藝。在該氮化硅減反射膜沉積過程中，晶硅電池片的承載物為石墨舟或者石墨框。一般在工藝生產(chǎn)過程中，石墨舟(框)也會被沉積到氮化硅薄膜，到一定厚度以后(一般大于IOum)，需要對石墨舟(框)做清洗處理。目前業(yè)界普遍采用的傳統(tǒng)清洗方法是使用HF/HC1混合液濕法槽式清洗，即將石墨舟浸泡在存有HF/HC1的槽中4...
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