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技術(shù)編號(hào)：1422772

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本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體制造中所用的化學(xué)制劑，尤其涉及用于在抗蝕劑等離子體灰化步驟后從晶片上去除殘?jiān)幕瘜W(xué)制劑。具體而言，本發(fā)明涉及用于從含有精細(xì)銅互連結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體晶片上去除無機(jī)殘?jiān)那逑粗苿，F(xiàn)有技術(shù)說明現(xiàn)有技術(shù)公開了利用各種化學(xué)制劑以在抗蝕劑灰化步驟后去除殘?jiān)⑶逑淳Ｒ恍┈F(xiàn)有技術(shù)的化學(xué)制劑包括堿性組合物，其含有胺和/或氫氧化四烷基銨、水和/或其它溶液、及螯合劑。還有以含有氟化銨的酸性至中性溶液為基礎(chǔ)的其它制劑。各種現(xiàn)有制劑的缺點(diǎn)在于包括對(duì)金屬和絕緣層不...
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