技術(shù)編號：1428677
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供對于利用含有錳化合物的研磨劑研磨后的碳化硅單晶基板利用安全且簡便的方法有效地清洗殘留、附著于基板表面的錳成分的清洗劑。本發(fā)明涉及一種清洗劑，其用于對利用含有錳化合物的研磨劑研磨后的碳化硅單晶基板進行清洗，所述清洗劑中，含有抗壞血酸和異抗壞血酸中的至少一種，并且pH為6以下。專利說明[0001]本發(fā)明涉及，更詳細(xì)而言，涉及用于對使用含有錳化合物的研磨劑研磨后的碳化硅單晶基板進行清洗的清洗劑和使用該清洗劑進行研磨后的清洗的碳化硅單晶基板的制造方法。背...
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