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洗凈液組成物及清洗基板的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:1452682

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本發(fā)明涉及。一種洗凈液組成物,包含堿性化合物(A)、非離子型表面活性劑(B)、式(III)所示的消泡劑(C)及水(D),該非離子型表面活性劑選自于式(I)、式(II)或上述的組合。式(I)及式(II)中,EO表示乙氧基,AO表示PO、BO或上述的組合,PO為丙氧基,BO為丁氧基,m、n、p及q分別表示平均加成摩爾數(shù),m及p各自表示3至100,n表示0至(0.2×m),q表示0至(0.2×p),x1、x2、y1、y2及y3各自獨立地表示1或2。式(III)中...
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